多弧離子反應鍍膜設備可鍍色彩 各種靶材對應的PVD鍍膜顏色

一、多弧離子反應鍍膜設備可鍍色彩

1、鍍銀灰色∶用鈦靶材，真空鍍抽至1.5×10-2Pa，充Ar（氬氣）至1.0×10-1Pa左右鍍三分鐘左右。（產生Ti金屬層）

2、鍍銀白色∶用鉻靶材，真空度抽至1.0×10-2Pa，充Ar（氬氣）至1.5×10-1Pa左右鍍三分鐘左右。（產生Cr金屬層）

3、鍍金色∶用鈦靶材，真空度抽至1.5×10-2Pa，充Ar（氬氣）至1×10-1Pa鍍60秒—關氬氣（Ar）—開氮氣至2~4×10-1Pa鍍4分鐘左右（產生TiN化合物）

4、鍍古銅色∶用一半鈦靶材，一半鈦鋁靶材，充Ar（氬氣）至1×10Pa-1開鈦靶鍍50秒—關Ar（氬氣）開氮氣至1×10-1Pa—開鈦靶、鈦鋁靶—充乙炔150流量左右，氮氣調至3×10-1Pa左右，鍍4分鐘（加熱爐體至200°C左右）。（產生TiCN和TiN化合物）

5、鍍玫瑰金色∶跟古銅色一樣操作，只是乙炔在60流量左右，氮氣調至2.5×10-1Pa左右（氮氣、乙炔要同時加進去反應，乙炔要保持不變，真空度多少只調節氮氣流量，古銅跟玫瑰金同樣調節）。（產生TiCN化合物）

6、鍍五彩色∶用鈦靶材，充Ar（氬氣）至1.0×10-1Pa鍍1分鐘后，關氬氣，開N氮氣至2.5×10-1Pa鍍70秒后關氮氣，開氧氣O2至4.5×10-1Pa鍍160秒左右，（產生TiO2、Ti2O3等氧化物）

7、鍍珠光色∶用鈦靶材，充O2（氧氣）在6.5×10-1Pa~7.5×10-1Pa不變動，鍍40秒左右即可，注意同時引弧，加熱爐體至180°C。（產生TiO2、Ti2O3等氧化物）

8、鍍18K金色∶用鋯靶材，充Ar（氬氣）至1.0×10-1Pa鍍30秒，關氬氣，開氮氣至2~4×10-1Pa左右鍍3~4分鐘即可。（產生ZrN化合物）

9、鍍土豪金色∶裝一半鈦靶材，一半錯靶材，充Ar（（氬氣）1.0×10-1Pa鍍鈦靶30秒后關氬氣，開氮氣至2~4×10-1Pa左右，開鈦靶、鋯靶，鍍4分鐘左右。（產生TiZrN化合物）

10、鍍透明七彩色（AB彩）∶用鈦靶材，充O2（氧氣）至6.5~7.5×10-1Pa鍍4分鐘左右，加熱爐戶溫150°C。（產生TiO2、Ti2O3；TiO、等氧化物）

11、鍍酒紅色∶用鐵靶材，充O2（氧氣）至7.5~9.5×10-1Pa鍍4~6分鐘，加熱爐溫150°℃左右，弧焊機電流在150A左右（產生Fe2O3氧化物）。

12、鍍琥珀色∶用鐵靶材，充O2（氧氣）至7.5~9.5×10-1Pa鍍1.5~2.5分鐘，加熱爐溫150℃左右，弧焊機電流在150A左右。（產生Fe2O3氧化物）

13、鍍寶石藍色，用鈦靶材，充Ar（氬氣）至1.0×10-1Pa鍍60秒后關氯氣，開氮氣800-900流量，同時開氧氣1000-1130流量（真空控制在2.5~3.5×10-1Pa鍍110秒左右）。（產生TiO2、Ti2O3、TiO、等氧化物和TiN化合物的混合膜層）

14、鍍紫色∶同十三號工藝，充氮氣和氧氣的鍍膜時間控制在60-70秒左右，真空在2.5~3.8×10-1Pa左右即可。

15、鍍鉻黑色∶用鈦Ti和鉻靶材，先充入氬氣Ar在1×10-1Pa鍍60秒左右，關鈦靶，開鉻靶，關小氯氣至80-120流量再通入CH乙快氣至8~9.0×10-1Pa，鍍300秒左右。（產生CrC黑色膜層）

16、鍍槍黑色∶用鈦靶材，充入Ar氣在1.0×10-1Pa鍍60秒后，關小氬氣至80-120流量，再通入CH乙炔氣在8~9×10-1Pa鍍300秒左右。（產生TiC化合物膜層）。

二、各種靶材對應的PVD鍍膜顏色

選擇靶材種類、材質和氣體（氮氣、氧氣、乙炔、甲烷、等），確定靶材及氣體種類，然后調整氣體比例、用量、濺射功率、濺射時間、基材處理溫度、濺射溫度、濺射時間等工藝參數，制備出顏色膜層，廣泛應用于裝飾性鍍膜行業。

靶材膜層顏色可調的PVD鍍膜方法

1、鍍金屬膜層，將待鍍產品傳入裝有金屬靶材的鍍膜腔室，開啟泵抽真空及加熱裝置進行基底加熱，使得本底真空達到1×10-3Pa及達到80-150℃工藝溫度后，向腔室通入10-1000sccm的氬氣，啟動濺射電源，設置濺射功率1-15KW，鍍膜時間10-300S，得到厚度為1-100nm的金屬膜層，金屬膜層為銅（Cu）、銀（Ag）、鋁（Al）、鉻（Cr）等金屬膜層，或鎳銅（NiCu）、鎳鉻（NiCr）等合金膜層。

2、鍍低折射率膜層，將鍍完金屬膜層的產品傳入裝有可形成低折射率膜層的靶材鍍膜腔室，加熱達到80-150℃的工藝溫度，向腔室通入工藝氣體，設置濺射功率1-15KW，鍍膜時間1-300S，得到厚度為1-100nm的低折射率膜層，此低折射率膜層為氧化硅、氮化硅等膜層。

3、鍍高折射率膜層，將鍍完低折射率膜層的產品傳入裝有可形成高折射率膜層的靶材鍍膜腔室，加熱達到80-150℃的工藝溫度，向腔室通入工藝氣體，設置濺射功率1-15KW，鍍膜時間1-300S，得到厚度為1-100nm的高折射率膜層，所述高折射率膜層為氧化鈦、氮化鈦、氧化鋯、氮化鋯、氧化鈮、氮化鈮、氧化鋅、氧化銦、氧化鋁、氧化鐵、氧化鉻、氮化鉻等膜層，此高低折射膜層的工藝氣體為Ar、N2、O2中的至少一種，其中Ar氣體流量為10-1000sccm，N2氣體流量為10-1000sccm，O2氣體流量為10-1000sccm。

4、重復步驟二和步驟三數次，得到不同顏色的膜層，重復步驟二和步驟三的次數為1-100次。

以下是PVD真空鍍膜裝飾薄膜常用材料及其常用氣體制作的各類裝飾顏色涂層：

鋯靶 氮氣：黃綠金黃色

鋯靶 甲烷：深淺黑色

鋯 氧氣：白色、透明膜

鋯靶 氮氣 甲烷：金色、仿玫瑰金

鉻靶 甲烷：深淺黑色

鉻靶 氮氣：淺黑色

鉻靶 氮氣 甲烷：銀灰色

鉻靶 氧氣：黃色、紫色、綠色

鉻靶 氧氣：銀色

不銹鋼靶 氧氣：紫色

不銹鋼靶 氮氣：藍色

不銹鋼靶 甲烷：亮黑色

不銹鋼靶 甲烷 氮氣：藍黑色

硅 氮氣：黑色

硅靶 氧氣：混濁白、透明膜

硅靶 甲烷：黃色、綠色、藍色、黑色（靶材純度高于99%僅能調黑色）

鈦靶 氧氣：光學膜七彩截色

鈦靶 甲烷：深淺黑色（DLC制備不能達標）

鈦靶 氮氣：仿金色、黃銅色、紫色、紅色

鈦靶 氮氣 甲烷：仿玫瑰金、黑綠色、復古黃、棕色、紫色

鎢靶 氮氣：棕黃色

鎢靶 甲烷：深淺黑色

鎢靶 氧氣：紫色、鮮黃色、棕色、藍色