半導體設備檢修工具有哪些 半導體設備檢修流程介紹

一、半導體設備檢修工具有哪些

半導體設備是一種高精度的機器，在現代化工業發展過程中，流水線的生產操作對于半導體設備要求較高，一旦出現故障會直接影響整個企業的生產進程，因此需要定期進行維修保養，防止出現故障發生導致停產，對企業造成較為嚴重的經濟損失，半導體設備檢修可以用到哪些工具？

1、氣浮搬運平臺

氣浮搬運平臺利用空氣懸浮在地面上，與地面不接觸，防止半導體設備受到振動和沖擊，同時保護地面不受損傷，可以實現精確的位置控制，保質期四年。

2、帶滑臺爪式千斤頂

帶滑臺爪式千斤頂可以實現前后100mm水平移動，頂升平穩無晃動，可以實現高精度的升降和定位控制，可定制無塵型。

3、楔形千斤頂

楔形千斤頂只需5mm的縫隙，楔頭即可插入起升至34mm的高度，手柄可以360度旋轉，能用于狹窄空間。

4、滑動紙

滑動紙人力即可推動1至9噸的重物，調整范圍為1cm-5cm，半導體設備檢修結束后抬起約1mm的高度即可拉出滑動紙，操作簡單，輕松便攜。

二、半導體設備檢修流程介紹

半導體設備出現故障后，先做好總體分析，然后仔細檢查故障問題。

1、首先，檢查半導體設備周圍的冷凍機、真空壓縮機、變壓器等是否運行正常，如果這些設備都正常，再排查和檢查半導體設備主體，檢修人員貿然拆解半導體設備會損壞元器件，重復的返工會浪費大量物力、人力和財力。

2、其次，全面了解半導體設備情況，確定半導體設備故障范圍，有針對性地采用檢修方法，半導體設備包括附加部分、傳送部分、動力部分、控制部分等，控制部分是半導體設備中最精密的部分，應重點檢查這個部分，逐一排查電路板模塊，反復進行對比分析，仔細檢查半導體設備故障位置。

3、最后，仔細清理半導體設備灰塵，檢查各個板件的焊接和線路連接，很多半導體設備在長時間使用過程中接口和插頭容易堆積大量灰塵導致漏電事故，線路板發生氧化形成虛焊，對于這些問題，檢修人員應積極進行檢修維護。